近年来半导体行业的快速发展，超高纯316L不锈钢，符合SEMI
F20标准，通过真空感应熔炼+真空自耗重熔（VIM+VAR），并使用特殊的工艺处理，对材料进行很大的提纯，进一步减少了材料中的的非金属夹杂物和气体成分。EP管（316L，VIM+VAR）是表面经过电解抛光处理，以提高产品内部的平滑性，并在金属表面形成富铬层以提高耐腐蚀性，电解抛光后的产品做钝化处理以去除游离铁离子。EP抛光产品经
SEM、 ESCA/XPS、AES分析，产品质量满足半导体协会 SEMI F20 标准。
基于EP抛光（316L，VIM+VAR）技术的发展，中科微能采用国内***企业生产的EP管（316L，VIM+VAR）和EP自动阀门，替换了光催化反应系统的原有玻璃管路和阀门，并实现了PLC全面控制整套系统，实现了CME-PCAE的全自动化运行。
CME-PRS-100光催化反应系统沿用半导体行业的真空技术，将玻璃管路和阀门替换为EP管和EP自动阀，实现了整个系统的全自动控制实验过程，全自动在线采样分析，实现了实验中真正的全自动运行。CME-PRS-100 光催化反应系统主要应用于光解水、全解水、电催化、光催化CO2还原、光催化固氮、光电催化气体产物分析、耐压釜式反应、催化反应的微量气体收集等。
产品优势：
1)封闭反应的产物气体收集、采样、在线分析的一体化系统；
2)内置气体磁力增压泵，形成高强压差，实现气体快速混匀；
3)全系统耐压-14.6psi~150psi，实现了从真空到10atm的压力覆盖；
4)应用半导体材料（TiO2、InO、C3N4、CdS等）催化剂的活性评价；
5)催化剂产氢、产氧、光解水的性能分析；
6)催化剂二氧化碳还原的性能分析；
7)系统可配和玻璃、石英、不锈钢、PEEK、PTFE等材料制备的反应器使用；
8)可满足光电反应、气固反应、膜催化、多相反应等特殊实验要求；
9)系统管阀件全部采用EP（316L，VIM+VAR）管和EP阀，对气体无吸附；
10)系统即装即用，可兼容任意厂家气相色谱仪，无需额外增加进样阀门；
11)GC测试范围广，氢、氧、CO2、甲烷、CO、甲醛、C1-C5等微量气体。
技术参数：
项目 | CME-PRS-100 |
系统真空度 | -0.1MPa（-14.6psi） |
系统耐压 | -14.6psi ~150psi |
管路材质 | EP电解抛管（316L，VIM+VAR）；体积50ml±5 |
阀门 | EP隔膜阀 |
玻璃反应器 | 100ml（标配）、250ml、25ml、50ml；石英通光 |
选配 | 316L不锈钢反应器、石英或蓝宝石通光 |
采样方式 | 全自动采样在线分析，可对接任意品牌色谱，GC无需加阀改装 |
控制方式 | 全面PLC数字化控制，10英寸触摸屏,可以实现与GC、光源、真空泵等辅助设备对接控制。 |
真空泵 | 反控自动启停，2L/s，含防倒吸电磁阀和单向隔膜阀，双重保护系统 |
测试精度 | 0.01ml& 0.1s |
光源放置 | 光源可以根据需求置于体系前端或后端平台，易于反应器的更换和光源的取放； |
测试范围 | 氢、氧、CO2、甲烷、CO、甲醛、乙醛等微量气体，H2、O2 >0.001ml；CO、CO2、CH4>1ppm；CH3OH、HCOOH、CH3CH2OH、CH3COOH>10ppm； |
推荐配套设备 | 1) 气相色谱： HF901（EPC+EPC），HF901A、岛津、安捷伦 2) 光源：CME-X305氙灯光源 3) 光功率计：CME-PM600 |
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