低温真空探针台的温度变化范围4.2K到475K，加低温选件后，温度可降低到1.5K，加入高温选件，可提供的温度变化范围：20K-675K。系统需要使用液氦或液氮实现变温，防辐射屏大大降低了黑体辐射，提高了制冷效率。冷头上安装两个加热器，减小了样品的温度梯度，加上防辐射屏上的加热器，整个系统可以实现快速的变温。
低温真空探针台最多具有6个可以进行微调整的探针臂，每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。专用的探针根据尺寸和材料不同，分为多种类型，探针减少了热质量，优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热，这样就减小了探针对样品的热传递。
● 系统可使用液氮或液氦制冷，基本系统温度范围：4.2 K to 475 K
● 加入温度选件，温度范围可到1.5 K to 400 K 和 20 K to 675 K
● 样品台可进行面内±5°旋转
● 测量DC到67GHz
● 最大测试样品尺寸51mm直径
● 最多可使用6个探针臂
● 探针臂传上安装温度感器进行温度监测
● 可提供Load-lock选件
● 控温稳定性：±50mK
● 探针臂3轴方向可调节，并可进行面内±5°旋转
● 采用高真空选件，系统真空度可达到10-7 torr
● 电缆、屏蔽和Guard保护进一步减少了电噪声和热辐射损失
● 可提供不同的选件和附件来满足特定的科研测试需要
