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低温真空探针台

低温真空探针台可以对器件进行非破坏性的测试,器件的***尺寸可达到51mm(2inch)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。一般来讲,纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在CPX在进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择,从而满足不同用户的需要。

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低温真空探针台

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产品详情 技术参数

        低温真空探针台的温度变化范围4.2K到475K,加低温选件后,温度可降低到1.5K,加入高温选件,可提供的温度变化范围:20K-675K。系统需要使用液氦或液氮实现变温,防辐射屏大大降低了黑体辐射,提高了制冷效率。冷头上安装两个加热器,减小了样品的温度梯度,加上防辐射屏上的加热器,整个系统可以实现快速的变温。

        低温真空探针台最多具有6个可以进行微调整的探针臂,每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。专用的探针根据尺寸和材料不同,分为多种类型,探针减少了热质量,优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热,这样就减小了探针对样品的热传递。

    ●    系统可使用液氮或液氦制冷,基本系统温度范围:4.2 K to 475 K

    ●      加入温度选件,温度范围可到1.5 K to 400 K 和 20 K to 675 K

    ●      样品台可进行面内±5°旋转

    ●      测量DC到67GHz

    ●      ***测试样品尺寸51mm直径

    ●      最多可使用6个探针臂

    ●      探针臂传上安装温度感器进行温度监测

    ●      可提供Load-lock选件

    ●      控温稳定性:±50mK

    ●      探针臂3轴方向可调节,并可进行面内±5°旋转

    ●      采用高真空选件,系统真空度可达到10-7 torr

    ●      电缆、屏蔽和Guard保护进一步减少了电噪声和热辐射损失

    ●      可提供不同的选件和附件来满足特定的科研测试需要


低温真空探针台技术参数

温度
温度范围标准温度范围:4.2K到475K

低温选件温度范围:1.7K-400K或2K-400K

高温选件温度范围:20K到675K
温度稳定性±50mK
系统降温时间
室温到10K以内30分钟
室温到1K以内且辐射防护屏达到稳定1小时15分钟
加热器温度控制
样品台50W
辐射防护屏2个100W和1个50W
探针臂只监视温度
探针臂行程及分辨率
X轴51mm(2inch),20μm分辨率
Y轴25mm (1inch),10μm分辨率
Z轴18mm (0.7inch),10μm分辨率
系统真空指标
抽真空时间系统冷却前抽真空到10-3 Torr,需要20分钟
室温真空度10-4Torr
光学分辨率-显微镜
7:1 Zoom4微米


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产品详情

        低温真空探针台的温度变化范围4.2K到475K,加低温选件后,温度可降低到1.5K,加入高温选件,可提供的温度变化范围:20K-675K。系统需要使用液氦或液氮实现变温,防辐射屏大大降低了黑体辐射,提高了制冷效率。冷头上安装两个加热器,减小了样品的温度梯度,加上防辐射屏上的加热器,整个系统可以实现快速的变温。

        低温真空探针台最多具有6个可以进行微调整的探针臂,每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。专用的探针根据尺寸和材料不同,分为多种类型,探针减少了热质量,优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热,这样就减小了探针对样品的热传递。

    ●    系统可使用液氮或液氦制冷,基本系统温度范围:4.2 K to 475 K

    ●      加入温度选件,温度范围可到1.5 K to 400 K 和 20 K to 675 K

    ●      样品台可进行面内±5°旋转

    ●      测量DC到67GHz

    ●      ***测试样品尺寸51mm直径

    ●      最多可使用6个探针臂

    ●      探针臂传上安装温度感器进行温度监测

    ●      可提供Load-lock选件

    ●      控温稳定性:±50mK

    ●      探针臂3轴方向可调节,并可进行面内±5°旋转

    ●      采用高真空选件,系统真空度可达到10-7 torr

    ●      电缆、屏蔽和Guard保护进一步减少了电噪声和热辐射损失

    ●      可提供不同的选件和附件来满足特定的科研测试需要


技术参数

低温真空探针台技术参数

温度
温度范围标准温度范围:4.2K到475K

低温选件温度范围:1.7K-400K或2K-400K

高温选件温度范围:20K到675K
温度稳定性±50mK
系统降温时间
室温到10K以内30分钟
室温到1K以内且辐射防护屏达到稳定1小时15分钟
加热器温度控制
样品台50W
辐射防护屏2个100W和1个50W
探针臂只监视温度
探针臂行程及分辨率
X轴51mm(2inch),20μm分辨率
Y轴25mm (1inch),10μm分辨率
Z轴18mm (0.7inch),10μm分辨率
系统真空指标
抽真空时间系统冷却前抽真空到10-3 Torr,需要20分钟
室温真空度10-4Torr
光学分辨率-显微镜
7:1 Zoom4微米


低温真空探针台
低温真空探针台可以对器件进行非破坏性的测试,器件的***尺寸可达到51mm(2inch)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。一般来讲,纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在CPX在进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择,从而满足不同用户的需要。
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